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石英坩埚
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1、高纯合成石英涂层透明石英玻璃坩埚：
在半导体生产和制造砷化镓等工艺中。既要求石英器材有较高温度的承受能力，又要防止杂质离子扩散引起沾污。为解决此问题，我们以天然水晶石英玻璃为基体，内壁用高温喷涂工艺，涂上一层高纯合成石英玻璃，使同时具备了两种石英玻璃的优点。
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化学纯度
|
| |
Al铝 |
Fe铁 |
Ca钙 |
Mg镁 |
Ti钛 |
Ni镍 |
Cu铜 |
K钾
|
Na钠 |
Mn锰
|
Cr铬
|
Li锂 |
B硼
|
杂质总量
tolal
impurities
|
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玻璃本体
for
glass
|
17
|
1.7
|
3.4
|
1.2
|
1.3
|
＜0.3
|
0.5
|
1.94
|
2.88
|
0.25
|
＜3.0
|
0.1
|
0.25
|
24.85
|
|
涂层部分
for
coating
|
0.37
|
0.31
|
0.27
|
0.04
|
0.03
|
＜0.03
|
0.01
|
0.5
|
0.5
|
＜0.03
|
＜0.03
|
＜0.03
|
0.02
|
1.22
|
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半导体用透明石英玻璃坩埚规格尺寸
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|
外直径
Outside
dia（D）
|
高度
Height（H）
|
底部半径
Radius
of bottom（R）
|
厚度
Thickness（S）
|
同一横截面的厚度公差Wall
thick-ness tolerance at the same section
|
|
80±0.50.8
|
60
|
D-1/2
|
2.0±0.05
|
0.3
|
|
90±
|
70
|
D-1/2
|
2.0±0.5
|
0.3
|
|
100±
|
80
|
D-1/2
|
2.3±0.5
|
0.3
|
|
106±
|
90
|
D-1/2
|
2.3±0.5
|
0.3
|
|
114±
|
75
|
D-1/2
|
2.3±0.5
|
0.3
|
|
130±
|
110
|
D-1/2
|
2.5±0.5
|
0.4
|
|
134±
|
110
|
D-1/2
|
2.5±0.5
|
0.4
|
|
153±
|
153
|
D-1/2
|
3.0±0.5
|
0.4
|
|
178±
|
178
|
D-1/2
|
3.0±0.5
|
0.4
|
|
203±
|
203
|
D-1/2
|
3.0±0.5
|
0.4
|
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2、 电弧法半透明石英坩埚
特点：高纯度、耐温性强、尺寸大、精度高、保温性好、节约能源、质量稳定
应用：半导体用拉制大直径单晶硅，大规模集成电路中的基础材料。
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纯度分析
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Type型号
|
Al
|
Fe
|
Ca
|
Cu
|
K
|
Na
|
Li
|
B
|
OH
|
|
DHS
|
20
|
20
|
1.5
|
0.1
|
3
|
3
|
3
|
0.3
|
30
|
|
DHS—A
|
15
|
0.3
|
0.6
|
0.05
|
0.7
|
1.0
|
0.7
|
<0.1
|
30
|
|
DHS—B
|
8
|
0.2
|
0.6
|
0.02
|
0.3
|
0.9
|
0.2
|
<0.05
|
30
|
|
|
规格尺寸
|
|
Crucible
size
|
Qutside
dia
|
Height
|
Thickness厚度
|
R*
|
r﹡
|
|
坩埚尺寸
|
外径D
|
高度H
|
t1
|
t2
|
t3
|
|
8”
|
203+03
|
153+3
|
5.5+1.5
|
3
|
8.5
|
305
|
30
|
|
10”
|
254+2
|
178+3
|
6.0+1.5
|
3.5
|
9
|
305
|
70
|
|
12”
|
305+2
|
228+3
|
6.5+1.5
|
4
|
9.5
|
305
|
80
|
|
14”
|
355+2
|
254+3
|
7.5+1.5
|
5
|
10.5
|
400
|
90
|
|
16”
|
404+2
|
305+3
|
8.5+1.5
|
6
|
11.5
|
400
|
90
|
|
18”
|
457+2
|
355+3
|
8.5+1.5
|
6
|
11.5
|
500
|
120
|
|
20”
|
508+4
|
381+3
|
10+3
|
6
|
11.0
|
500
|
120
|
|
22”
|
558+4.5
|
381+3
|
10+3
|
7
|
11.0
|
558
|
89
|
|
24”
|
610+4.5
|
381+3
|
11+2
|
7+1
|
11.0
|
610
|
89
|
|
|
DHS标准纯度
DHS-A高纯度、半导体级
DHS-B等高度、低碱、低铝、低硼、半导体级
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3、 彩色荧光粉用电弧法石英制品
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产品名称
Name
|
外径
Outside
|
壁厚
Wall
thickness
|
高度
Height
|
底形
Botom
|
|
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石英坩埚
Quartz
glass
crucible
|
90+1.5
|
5+1
|
110+2
|
园底round
|
平底flat
|
|
130+2
|
6+1
|
160+2
|
”
|
”
|
|
141+2
|
6.5+0.5
|
160+2
|
”
|
”
|
|
145+2
|
6+1
|
150+2
|
”
|
”
|
|
180+3
|
6+1
|
270+3
|
”
|
”
|
|
石英盘
Quartz glass plate
|
280+2
|
7+1
|
110+2
|
|
”
|
|
305+2
|
7+1
|
55+1
|
|
”
|
|
325+1
|
8+1
|
105+1
|
|
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